看了基于圓柱面的白光干涉儀的用戶又看了
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大型快速的3D白光干涉測量
使用高精度的壓電馬達
全電動系統
可用于直徑從70mm的不同氣缸
使用MountainsMap影像地形分析數據
SmartWLI-cylcheck參數
探測器
光源
: 白光LED系統組件
深層定位
: 電動可調節到200 mmX-Y定位
: 圓柱直徑為電動調節可從70 mm調到155 mm
系統轉動
: 可手動旋轉Z-測量系統
: WLI/壓電式底座的測量范圍為100um測量轉接器
: 用于安裝在氣缸上的轉接器滾動箱
: 記錄所有系統組件，包括工業PC對儀器的控制評估
: MountainsMap影像地形鏡頭選項
放大倍數 10x 20x 50x
在平方微米的測量領域 1290x965 645x480 258x190
NA 0，3 0，4 0，55
z方向分辨率 <5 nm <5 <5 nm
XY方向分辨率 1，9 µm 1，0 µm 0，7 µm
選項
Cylanalyse 圓柱表面的分析評價
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