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技術(shù)規(guī)格

(1)移動(dòng)范圍: X 軸驅(qū)動(dòng)部: 100mm

電動(dòng)立柱(垂直方向): 250mm

(2)Z 軸測(cè)量范圍:1000μm(粗糙度時(shí))、50mm（輪廓度時(shí)）

(3)直 線(xiàn) 度:粗糙度時(shí)(0.05+1.0L/1000)μm ，L:測(cè)量長(zhǎng)度 (mm)

輪廓度時(shí)1μm/100μm

(4)測(cè)量精度(輪廓): Z 軸(垂直方向)指示精度 ±(1.8+│2H│/100)

μm Z 軸分辨率 0.1μm/50mm

X 軸(橫方向)指示精度±(1+2L/100)μm ，L=測(cè)量長(zhǎng)度（mm）

粗糙度精度:X 軸分辨率0.1μm

(5)粗糙度解析項(xiàng)目:測(cè)量參數(shù) (JIS ，ISO，DIN，ASME，CNOMO 等標(biāo)準(zhǔn))

評(píng)價(jià)曲線(xiàn) (斷面曲線(xiàn)，粗度曲線(xiàn)，波紋度曲線(xiàn)等)、特性圖形 (負(fù)荷曲線(xiàn)，

振幅分布曲線(xiàn)等)

(6)記錄倍率: 縱倍率(粗糙度用) 50，100，200，500，1K，2K，5K，10K，等

及自動(dòng)

橫倍率(粗糙度用) 50，100，200，500，1K，2K，5K，10K，等及自動(dòng)

縱倍率(輪廓用) 0.01～10，000，000 倍(任意，自動(dòng)可)

橫倍率(輪廓用) 0.01～10，00，000 倍(任意，自動(dòng)可)

(7)濾波種類(lèi):標(biāo)準(zhǔn)型濾波(2CR)，位相補(bǔ)償濾波(2CR)，高斯濾波.

(8)取樣長(zhǎng)度:0.025，0.08，0.25，0.8，2.5，8，25mm(7 種)及任意.

(9)驅(qū)動(dòng)速度:粗糙度0.03～3mm/s ;波紋度 0.03～20mm/s

(10)傳感器: 差動(dòng)變壓式原理和光柵尺

(11)輪廓處理功能: 點(diǎn)，直線(xiàn)，部分園，橢圓，**點(diǎn)，*小點(diǎn)，距離，坐標(biāo)

差，極坐標(biāo)差，直交/極坐標(biāo)表示.公差要素(點(diǎn)-直線(xiàn)，直線(xiàn)-直線(xiàn)，圓-圓，

直線(xiàn)-橢圓，圓-橢圓 等)。 對(duì)稱(chēng)要素(點(diǎn)-點(diǎn)，點(diǎn)-圓，直線(xiàn)-直線(xiàn)，圓-圓，

圓-橢圓，橢圓-橢圓) 原點(diǎn)設(shè)定，X 軸設(shè)定，坐標(biāo)系的平行移動(dòng)/回轉(zhuǎn)移動(dòng)

等等

(12)其他相關(guān)參數(shù)詳見(jiàn)產(chǎn)品樣本(相關(guān)參數(shù)以樣本為主).