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SU8010發射掃描電鏡
SU8010發射掃描電鏡

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日本

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青島澳信儀器有限公司

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SU8010—日立新型高分辨場發射掃描電鏡SU8000系列

產品介紹:

  日立2005年在中國推出了S-4800型高分辨場發射掃描電鏡,由于出色的應用性能、良好的穩定性和簡易的維護,收到了各界用戶的一致好評。

  日立2011年新推出了它的后續機型----SU8010,它繼承了S-4800的優點,性能有進一步提高,1kv使用減速功能后,分辨率提升到1.3nm,相對于S-4800可以在更低的加速電壓下呈高分辨像,明顯提升了以往很難觀測的低原子序數樣品的觀測效果。

特點:

1. 優秀的低加速電壓成像能力,1kv分辨率可達1.3nm

2. 日立**的ExB設計,不需噴鍍,可以直接觀測不導電樣品

3. Upper探頭可選擇接受二次電子像或背散射電子像

4. 可以根據樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減速功能

5. 標配有冷指、電子槍內置加熱器,物鏡光闌具有自清潔功能

6. 儀器的烘烤維護及烘烤后的透鏡機械對中均可由用戶自行完成

二次電子分辨率

1.0nm(加速電壓15kV、WD=4mm)
1.3nm(加速電壓1kV、WD=1.5mm)
加速電壓 0.1~30kV
觀測倍率 20~8000,000(底片輸出)
60~2,000,000(顯示器輸出)
樣品臺
馬達驅動 3軸馬達
5軸(選配)
行程 X 0~50mm
Y 0~50mm
Z 360°
T -5~70°
R 1.5~30mm
**裝載尺寸 100mm(**)
150mm(選配)
探頭
標配 Lower 高立體感圖像
Upper 高分辨SE、BSE圖像

選配

STEM 明場像、暗場像
YAG 探頭 BSE圖像
半導體探頭 BSE圖像
EBIC 電子束感生電流圖像
EDS 元素分析
反污染措施
冷指 標配
物鏡光闌 內置自清潔功能
電子槍 內置加熱器
真空系統
離子泵 3臺
分子泵 1臺
機械泵 1臺

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產品質量

10分

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10分

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10分

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