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通過(guò)超級(jí)混合式物鏡進(jìn)行高分辨率觀察

JSM-7800F的物鏡采用靜電場(chǎng)和靜磁場(chǎng)疊加的超級(jí)混合式物鏡(SHL)，由于減少了色差及球差，極大地提高了低加速電壓下的分辨率。此外，SHL不會(huì)對(duì)樣品形成磁場(chǎng)影響，因此觀察磁性材料的樣品和進(jìn)行EBSD測(cè)試可以不受制約。

低加速電壓下的能量選擇

能量過(guò)濾器位于高位檢測(cè)器 (UED)的正下方，可以選擇能量。即使在低加速電壓下，也能夠精確地選擇二次電子和背散射電子，因而可以通過(guò)低加速電壓下的背散射電子像，觀察樣品的淺表面。

通過(guò)柔和光束觀察樣品的淺表面

給樣品加以偏壓(GB)，對(duì)入射電子有減速、對(duì)釋放出的電子有加速作用。即使入射電子束到達(dá)樣品時(shí)的能量很低，也可以獲得高分辨率、高信噪比的圖像。如果利用能施加更高偏壓的GB模式，用數(shù)十電子伏能量的入射電子束，就可以進(jìn)行更高分辨率的觀察。

? 通過(guò)多個(gè)檢測(cè)器獲取樣品的所有信息

JSM-7800F配有四種檢測(cè)器：高位檢測(cè)器(UED) 、高位二次電子檢測(cè)器(USD)、背散射電子檢測(cè)器(BED)和低位檢測(cè)器(LED)。UED過(guò)濾器的電壓不同，二次電子和背散射電子的數(shù)量會(huì)改變，因此可以選擇電子的能量，USD檢測(cè)被過(guò)濾器彈回的低能量電子，BED通過(guò)檢測(cè)低角度的背散射電子，能清楚地觀察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。