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Instec
來(lái)自液晶先驅(qū)院校美國(guó)科羅拉多大學(xué)的精密溫控裝置與液晶檢測(cè)設(shè)備
功能特點(diǎn) |
可編程精密控溫。可獨(dú)立控制，也可從上位機(jī)軟件控制 |
超低的盤面溫度梯度 |
獨(dú)立的上盤面真空吸氣槽，用于吸附固定晶圓樣品 |
軟件可拓展性強(qiáng)，可提供LabView等語(yǔ)言的SDK |
#升級(jí)項(xiàng)# 性能可升級(jí)，詳見(jiàn) 配置列表 |
#選擇項(xiàng)#是否帶有上蓋。上蓋功能如下： 可拆卸的觀察窗 可變的樣品腔高度 用于負(fù)溫時(shí)的除霜設(shè)計(jì) 向腔室內(nèi)充入氣氛 |
可做改動(dòng)或定制，詳詢上海恒商 |
技術(shù)參數(shù) | ||
溫 控 性 能 | 溫度范圍 | -190℃ ～ 600℃ 負(fù)溫需使用液氮制冷 可提升溫度上限 |
溫度分辨率 | 0.001℃ | |
溫度穩(wěn)定性 | ±0.05℃(at 100℃) 可提升穩(wěn)定性 | |
溫度均勻度 | ±0.1℃/cm可升級(jí)均勻性 | |
*小控溫速度 | ±0.1℃/小時(shí) | |
**加熱速度 | +150℃/分鐘(at 100℃) | |
**制冷速度 | -100℃/分鐘(at 100℃) | |
溫度傳感器 | 100Ω鉑質(zhì)RTD | |
溫控方式 | 開(kāi)關(guān)式PID 可升級(jí)為LVDC式PID | |
尺寸 | 樣品腔面積 | 35 mm x 35 mm |
*注：液氮泵型號(hào)不同，制冷表現(xiàn)也會(huì)有差異，請(qǐng)悉知 | ||
配置列表 | ||
標(biāo) 準(zhǔn) | HCC602 溫控晶圓夾盤 | √ |
mK2000溫度控制器 軟件免費(fèi)，控制線有多種接口供選 | √ | |
升 級(jí) | **溫度 從 600℃ 升級(jí)為 更高 | |
選 配 件 | 上蓋 | |
液氮制冷系統(tǒng) 包含液氮泵與液氮罐，使樣品降至負(fù)溫 | ||
外殼水冷配件 用常溫水或冰水循環(huán)防止外殼過(guò)熱 | ||
固定支架 把夾盤固定在使用平臺(tái)上，防止滑動(dòng) | ||
溫控聯(lián)動(dòng)顯微鏡相機(jī) 溫度-圖像聯(lián)動(dòng)工作，附軟件 | ||
線性可變直流電源(LVDC) 裝在溫控器里，抑制電噪音 | ||
*注：產(chǎn)品有多種配置變化，詳詢上海恒商 | ||
欲咨詢產(chǎn)品請(qǐng)?jiān)L問(wèn)本公司官網(wǎng)聯(lián)系我們
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