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◆規格
▼UTS-2000
機種 | UTS-2000 | |
測量方式 | FT/IR 干渉膜厚測量法 | |
測量配置 | 反射、透過（選配） | |
樣品尺寸 | 20 × 20 ～ 1200 × 1200μm | |
顯示器 | 內置CMOS相機確認測量位置 | |
●測量范圍／精度 | ||
測量膜厚范圍 | 0.25μm～750μm（Siの場合） | |
測量膜厚再現性 | 0.005μm以下 (同一點繰返し測定時、Si の場合) | |
●XY樣品臺 | ||
距離 | 200mm×200mm | |
驅動分辨率 | 2μm | |
●數據處理部 | ||
對應OS | Windows 7 Professional | |
控制裝置 | JASCO光學管理器控制光學系統／控制XY樣品臺／控制搬送機（選配） | |
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