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一、儀器描述
ATM-240L用于產生高濃度PSL小球氣溶膠，依據VDI 3491（part 2）進行設計研發。
在半導體和航空航天行業中的高效過濾器的測試中，不能采用常見的油性氣溶膠物質（DEHS、PAO等），即使很小的量也會存在濾材中或者排出從而導致對產品造成損傷，根據DIN EN 1822-4中濾材的測試用固體顆粒，經過對比，PSL是**的用于測試PTFE高效濾膜的**材料。
——較高的產生速率，**1.5*1011/min。
——單分散氣溶膠粒徑分布
——滿足檢漏測試（U16級，濾紙樣610mm*610mm，質量流量600m3/h）
——較少的水分攝入，無需干燥
——易于操作、清潔、保養
二、儀器應用
l 產生示蹤粒子
l 測試HEPA和ULPA過濾器效率
l 測試大型潔凈間VDI2083、DIN EN ISO14644
l 產生PSL小球
三、儀器規格參數
型號 | ATM 240L |
氣溶膠粒徑 | 取決于懸浮粒子尺寸 |
壓縮空氣 | 6 bar 253/h |
氣溶膠發生速率 | **1.5*1011/min |
質量流量（DEHS） | max.20-240 g/h |
需要*少的懸浮 | 大約50ml |
尺寸 | 900mmx 400mmx 300mm |
重量 | 25 kg |
氣溶膠類型 | PSL |
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