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Micro-Vu的高精度視覺量測系統具有強大的功能性，可被廣泛的應用在各種量測的需求先進的機構設計造就了高性能的速度與精度，前瞻性的機電整合技術，運用USB傳輸，簡化了量儀與電腦的溝通InSpec for Windows 幾何量測軟件提供簡易且人性化的接口，讓量測、資料轉換及報表輸出變得容易操作與上手，InSpec提供免費升級含版本先進的光源系統提升了尋邊與自動對焦的辨識能力與功能。
規格參數：
技術參數 | Excel 661UM | Excel 661UC |
測量范圍 | 650×680×150mm | |
儀器外觀尺寸 | 1311×1604×1608mm | |
凈重 | 1530kg | |
容量 | 100kg | |
床臺材料 | 花崗巖 | |
途徑 | 獨特的X和Y單軌，單軌線性的z | |
電源要求 | 93-264VAC， 47-63Hz， 10Amp max. | |
X，Y軸精度 | U=2.8+L/200μm | |
Z軸精度 | U=2.8+L/100μm | |
X，Y軸加速度 | 1000mm/s2 | |
Z軸加速度 | 500mm/s2 | |
X，Y 速度 | 150mm/s2 | |
光柵尺分辨率 | 0.1μm | |
輪廓光，同軸光，表面光 | 紅光LED技術（黑白機種使用） 白光LED技術（彩色機種使用） | |
光學鏡頭/倍率范圍 | 12*Opucal/2.5*Digital Programmable Zoom/15x～1200x on | |
計算機規格 | 1.2GHz，256MB RAM，Windows2000，CD-RW，Ethernet Card | |
工作環境 | 20℃(680F)±20，30-81% Humidity | |
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