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特色
緊湊型設計，分辨率為4 nm*1
通過高靈敏度二次電子探測器，背散射探測器，低真空探測器（UVD*2），實現低加速電壓/低真空下高質量圖像觀察
操作簡捷，即使新手也能拍出高質量的圖片
新開發的導航功能「SEM MAP」，便于快速鎖定視野
大窗口（30 mm2）SDD能譜系統，便于快速分析元素成分*2
*1
設置在桌面時，分離主機和電源箱
*2
選配
規格
| 項目 | 內容 | |
|---|---|---|
| 分解能*3 | 4.0 nm @ 20 kV （SE：高真空模式） 15.0 nm @ 1 kV （SE：高真空模式） 5.0 nm @ 20 kV （BSE：低真空模式） | |
| 加速電壓 | 0.3 kV ～ 20 kV | |
| 放大倍率 | 6× ～ 300，000× （底片倍率） 16× ～ 800，000× （顯示倍率） | |
| 低真空模式 | 真空范圍：6 ～ 100 Pa | |
| 電子槍 | 預對中鎢燈絲 | |
| 樣品臺 | 3-軸自動馬達臺 X：0 ～ 40 mm， Y：0 ～ 50 mm， Z：5 ～ 15 mm R：360°， T：-15° ～ ＋90° | |
| **樣品尺寸 | 直徑80 mm | |
| **樣品高度 | 40 mm | |
| 尺寸 | 主機：450（W） x 640（D） x 670（H） mm 供電單元：450（W） x 640（D） x 450（H） mm | |
| 探測器選配 |
| |
*3
主機與供電單元組合使用
*
PC、桌子、機械泵、顯示器需要本地采購
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