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技術優勢：
1、 清洗功率可調節：0 to 99 watts；
2、 操作壓力可調節：from 2 torr to 1 mTorr；
3、 清洗速度快；
4、 無需破真空進行清洗，實現原位清洗；
5、 即插即用設計方案，無需集成；
6、 采用從上到下清洗模式，降低對樣品的損傷
7、微量等離子激發，消除清洗和成像交換之間的圖像形成的遲滯現象；
8、擴展性好，可配用各類臺式電鏡、透射電鏡原位清洗以及樣品清洗使用
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