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S-93200是新一代產品中一款高速振鏡，S-9***系列振鏡比TSH8***系列產品具有更高速、更大扭矩和低漂移的特性，主要用于有高速要求的應用，可帶載15mm和20mm鏡片，可與SD1000驅動板一起組成單軸掃描系統。
S-9320電機參數
型號 | S-9320 |
光斑直徑， 毫米 | 15 ， 20 |
**掃描角度 | ±12.5° |
小步長階躍響應時間（1）， （ms） | 0.4 |
誤差跟蹤時間（ms) | 0.22 |
轉動慣量 ，g*cm2 ，±10% | 1.9 |
力矩常量dyne·cm/amp，±10% | 1.9*105 |
**平均工作電流（A/單軸） | 4 |
峰值電流（A） | 20 |
零點漂移（μRad/℃） | <15 |
比例漂移（ppm/℃） | <50 |
線性度（2） | ≥99.90% |
重復精度（μRad.） | <8 |
長時間漂移（連續工作8小時）（mrad） | <0.5 |
工作環境溫度 | 25℃±10℃ |
重量（不含電纜）（g） | 235 |
備注： l 所有角度均為機械角 l 所有參數為上電1分鐘后測得 （1）配該型號電機所能帶載的*小Y軸鏡片，響應至滿幅度的1%； （2）指在±20° 光學角范圍內的線性度 | |
S-9320M 和S-9320A/D
S-9320M振鏡作為2D掃描模塊銷售時不含箱體，由2軸振鏡、2軸驅動板和XY支架組成，OEM客戶可將該模塊集成到自己的系統中。
S-9320A 表示產品包含箱體外殼，模擬接口
S-9320D表示產品包含箱體外殼，內含數模轉換卡，數字接口
S-9320電機模塊的優勢有高速高精度，大扭矩，低溫漂，結構緊湊，防塵抗干擾，易于安裝，高效散熱系統 ，主要應用于激光標刻，激光焊接，切割，鉆孔等
S-9320M和S-9320A/D參數
型號 | S-9320M ， S-9320A/D | ||
光斑直徑， 毫米 | 15 | 20 | |
**掃描角度 | ±12.5° | ||
有效掃描角度 | ±12.5° | ||
可承受**激光功率（W） | Nd:YAG@1064nm | 200 | 300 |
CO2 | 150 | 200 | |
小步長階躍響應時間， （ms） | 0.4 | ||
誤差跟隨時間， （ms） | 0.22 | ||
標刻速度 (2)（m/s） | 3 | 3 | |
定位速度 (2)（m/s） | 10 | 8 | |
定位速度 (3)cps | 好質量 | 600 | 500 |
高質量 | 450 | 360 | |
零點漂移（μRad/℃） | <15 | ||
比例漂移（ppm/℃） | <50 | ||
長時間漂移（連續工作8小時）（mrad） | <0.5 | ||
線性度(4) | ≥99.90% | ||
重復精度（μRad.） | <8 | ||
**平均工作電流（A/單軸） | 4 | ||
峰值電流（A） | 20 | ||
輸入信號接口 | XY2-100 或模擬 ±5V， ±10V | ||
輸入電源 | ±24 VDC±10%，Max. RMS 3.5A/軸 | ||
工作環境溫度 | 25℃±10℃ | ||
主要應用領域 | 激光標刻，激光焊接，切割，鉆孔 | ||
備注： l 所有角度均為機械角 l 所有參數為上電1分鐘后測得 （1）配該型號電機所能帶載的*小Y軸鏡片，響應至滿幅度的1%； （2）使用焦距F=160mm透鏡測得； （3）透鏡F=160mm，標刻由字母和數字組成的1mm高的單線字； （4）指在±20° 光學角范圍內的線性度 | |||
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