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四氯硅烷分析氦離子色譜儀適用電子工業用氣體中痕量雜質的檢測，小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統，不同底氣的樣品的進樣量。產品先后榮獲上海市成果轉化A級項目。
| 硅(SiHCl3)含量（體積分數）/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| 二氯硅烷(SiH2Cl2)含量（體積分數）/l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
| 甲基二氯硅烷(SiCl2CH4)含量（體積分數）/l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
| 金屬元素及其他元素含量 | （硼+鋁）（B+Al）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.1 |
| （磷+砷）（P+As）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.3 | |
| 鎵（Ga）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 銻（Sb）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 銦（In）含量/（μg/kg） ≤ | —— | 0.5 | |
| 鈣（Ca）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鉻（Cr）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鐵（Fe）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鉀（K）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鈉（Na）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鎳（Ni）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鉬（Mo）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 錳（Mn） 含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 銅（Cu）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鎘（Cd） 含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鈷（Co）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 鋅（Zn）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
| 釩（V）含量/（μg/kg） ≤ | 1 | 0.5 | |
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