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稀釋氣質量流量計可控制到0-10SLM；
源氣質量流量計可控制到0-100SCCM；
2路校準口入口和1路吹掃口；
1路稀釋氣入口，3路輸出口和1路排空口
稀釋入口：1路標準；
源氣入口：1路標準，1路吹掃；
稀釋流量：0-10SLM（0-20SLM可選）；
源氣流量：0-100SCCM（0-2SLM可選）；
流量精度：≤1%FS；
流量重復：≤±0.15%FS；
線性：≤±0.5%FS；
響應時間：<1分鐘；
操作：按鍵，鍵盤，串口，USB，以太網；
校準定義：20個工廠配置流路，每個流路可**20個線性點；
校準類型：稀釋氣，臭氧，GPT；
儀器特點：
操作簡單，方便；
溫度顯示穩定，可靠；
壓力可調，面板帶壓力表；
可方便地放入滲透管。
性能參數
溫度控制：基于微處理器的比例溫控系統；
溫度傳感器：RTD;
前面板安裝：調壓器，壓力表，溫控器，稀釋爐入口
特氟龍爐身尺寸：內徑3.09cm，長度12.7cm，
溫控范圍：高于環境溫度2℃到65℃，
暫無數據！
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