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產品介紹：
等離子體樣品清洗設備Evaction E50主要用于場發射掃描電鏡樣品和樣品室內碳氫化合物、有機物和表面碳污染的清洗。Evaction E50可以安裝在電鏡交換倉或樣品室內，利用等離子體進行清洗，也可以用紫外線進行清洗，無需切換到低真空模式即可使用，射頻功率高達50W，清洗效率高。
主要特點：
n清洗效率高（射頻功率50W）
n等離子體和紫外線雙重清洗
n高真空模式下運行，真空范圍大
n無損清洗
n無需特殊氣源
n兼容SEM、FIB等設備
操作方式 | 桌面按鈕控制 |
遠程遙控 | 支持安卓平板電腦或藍牙控制 |
尺寸 | 44 x 8.9 x 22 cm (W x H x D) |
射頻功率 | 20 - 75 W (13.56 MHz RFHC) |
電源 | 100 – 240 VAC 50/60 Hz |
標準 | 符合RoHS標準 |
暫無數據！
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