金屬電熱元件：
其他燒結氣氛：
真空溫控精度：
0.1-2.5pa最高溫度：
1600額定溫度：
1350非金屬電熱元件：
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設備名稱：雙料室氣相沉積實驗爐
應用領域：氧化亞硅等多種原材料氣相沉積實驗
工藝描述：雙料室裝料，歸中反應，氣相沉積制粉
| 型號 | 裝料尺寸 | 裝載量 | 工作溫度 | 極限溫度 | 真空度 | 總功率 | 氣氛類別 | 工序時長 | 設備重量 |
| MGB20-60HH | Φ200*600 | 0.04M | 1350℃ | 1600℃ | 0.1-2.5Pa | 90KW | Ar/N2 | 24 | 3T |
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