非金屬電熱元件：
硅鉬棒金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
氮氣溫控精度：
-最高溫度：
1800℃額定溫度：
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立式退火爐
1、**設(shè)計溫度：1800℃
2、常用溫度：1700℃
3、供電電源：AC380V±10％,3相4線, 50Hz
4、加熱元件：硅鉬棒
5、適用燒結(jié)氣氛：氮氣、一氧化碳、氬氣
該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體硅晶片的退火、具有控溫精度高、溫度場均衡、升降溫速率快、可靠性高等特點，是制作半導(dǎo)體硅晶片材料的必備工藝設(shè)備
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