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中低溫附件
中低溫附件
溫度設置：惰性氣體環境，室溫到1200℃
真空環境：-196~450℃
溫度控制精度：±0.5℃
制冷方式：液氮（消耗量小于4L/h）
窗口材料：聚酯膜
冷卻方式：去離子水循環冷
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